La Fluorescencia de Rayos X se fundamenta en la excitación, por medio de Rayos X, de los electrónes atómicos en los niveles más energéticos (K, L y M principalmente) de las muestras irradiadas. Los electrones así excitados relajan su energía mediante la emisión de fotones de Rayos X característicos. Utilizando detectores para espectrometría de Rayos X, Si(Li) en este caso, se puede determinar la energía y la intensidad de estos fotones, lo que da información cualitativa y cuantitativa sobre la composición de las muestras.

Sus aplicaciones son muy amplias, ya que permite estudiar diversos tipos de matrices y materiales, tales como muestras metálicas, cristalinas, amorfas, orgánicas, etc.

Espectrómetro de Rayos X dispersivo en energías.

Espectro típico de Fluorescencia de Rayos X.