Acelerador lineal de 200 keV. Implantador de iones BALZERS Modelo MPB 202
El Implantador de iones BALZERS Modelo MBP 202 está especialmente diseñado para producción industrial y desarrollo de semiconductores. Fue donado por el IVIC al Laboratorio de Física Nuclear de la USB hace algunos años. Actualmente se encuentra puesto en funcionamiento.
Cuenta con:
- Terminal de alto voltaje dispuesto en forma horizontal, equipado con el suministro de energía necesario para operar la fuente de iones. Además, posee una columna de aceleración con una configuración de múltiples electrodos con un gradiente de voltaje menor a 8 kV/cm.
- Fuente de Iones, que incluye un cátodo frío para producir iones de boro, fósforo y arsénico de compuestos gaseosos. También es posible utilizar un fuente de iones de cátodo hueco modelo 911A de High Voltage Engineering Europa, para producir iones positivos de una amplia variedad de compuestos gaseosos y sólidos.
- Fuente de alto voltaje, el cual posee voltaje de salida continuamente variable entre 20-200 keV y corriente de salida de 1.5 mA.
- Sistema de bombeo compuesto por tres sistemas de bombeo por aceite de difusión y sus correspondientes multi refrigerantes. El primero se ubica entre la columna de aceleración y el imán, el segundo en la línea del haz y el tercero debajo de la cámara del blanco. Todos los componentes se operan de forma electroneumática.
- Cónsola de control desde la cual se operan todos los controles del implantador.
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Electroimán analizador que provee un campo magnético homogéneo, de doble enfoque.